DISCO研磨機(jī)

DISCO研磨機(jī)

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disco DFG8540研磨機(jī)資料 - Package Equipment[封裝設(shè)備] - 半導(dǎo)體技術(shù)天地 - 工程師的家園,專注于電子電路,半導(dǎo)體芯片,集成電路,太陽能電池,MEMS,LED等行業(yè)領(lǐng)域。各位兄臺(tái)，可曾遇到過此問題，基本上在做每一片wafer的時(shí)候都會(huì)出現(xiàn)此問題，希望哪位高人能提供一些建議，小弟在此深表謝意。 DFG8540 Chuck wash brush can not move down to operation pos!!!Chuck Wash Brush 不能向下動(dòng)作問題，建議使用手動(dòng)操作（Handy Panel）做檢查，問題不外乎在氣動(dòng)（氣流量調(diào)解、氣缸本身、電磁閥等）或Sensor檢測部分！?。≈x謝你的建議，但是類似的動(dòng)作我們都有做過，調(diào)節(jié)氣缸氣壓，sensor的位置等等，奇怪的是在做warm up 的時(shí)候是ok的。只是在跑production的時(shí)候幾乎是每片wafer會(huì)出現(xiàn)。很是頭疼阿真是讓人失望?。? q' }& ^+ L3 [8 R3 E$ a4 `14。

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